探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。此定制探針臺可以配合光電流顯微鏡使用，可以通入不同波長的光。
•本顯微鏡是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下的電氣特性等測試目的。
•本顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源，波長范圍200nm~20000nm，中間可加入多個波片過濾，起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。所有模塊均可拉出設(shè)計，對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響。
•導(dǎo)入光光路可選擇一個光時間開關(guān)，精確控制導(dǎo)入光的輻照時間，精度1ms，范圍2ms~∞，在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置。
•成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25~10倍率，通常在高低溫測試系統(tǒng)里會用到，同一個物鏡不切換，得到兩個不同視野的成像。
產(chǎn)品實(shí)物圖：
