產(chǎn)品簡介:
DN系列探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺,最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測試。此系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門結(jié)構(gòu),顯微鏡可X-Y-Z方向進行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與樣品快速分離,提高測試效率,在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運用,配合對應(yīng)的儀器儀表,可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試。
技術(shù)特點:
• 顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質(zhì)量的光學(xué)成像;
• 卡盤同時具備快速和微調(diào)升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡;