產(chǎn)品概要：

技術(shù)特點：

• 加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計，領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。

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結(jié)構(gòu)功能：

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產(chǎn)品實物圖：
      
 

• 主體材料：航空級鋁材
• 卡盤材質(zhì)：316不銹鋼鍍金，帶兩個背電極，呈180度設(shè)計
• 卡盤大小和行程：6英寸，8英寸，12英寸，行程和卡盤大小匹配，臺體自帶快速氣浮移動功能
• 卡盤Z軸升降：chuck快速升降5mm；微調(diào)升降，行程6mm，精度1微米（大波輪+搖桿設(shè)計）
• 卡盤吸附形式：環(huán)形吸附或者多孔真空吸附，均獨立控制
• 成像系統(tǒng)：兼容體式顯微鏡，視頻顯微鏡，金相顯微鏡，帶CCD成像系統(tǒng)，可拍照，錄像，標尺
• 探針座：可選直流或者射頻探針座，精度0.5um，0.7um，1um可選
• 直流夾具：三軸夾具100FA/同軸夾具10PA
• 探針座平臺：平臺可以快速升降，可選擇5mm和250um 兩檔，可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1µm
• 探針臺臺體：帶高剛性龍門架結(jié)構(gòu)，便于顯微鏡的移動，行程2英寸*2*2英寸，精度1um（顯微鏡可氣動升降）
• 探針臺臺體：帶自適應(yīng)減震機構(gòu)，帶標準地線，防止靜電干擾
• 以上為主要參數(shù)，詳細參數(shù)可以下載資料或者聯(lián)系我司銷售。

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