此探針臺是微型探針臺,適用于測試場景比較簡單的實(shí)驗(yàn)室,也可以用于手套箱內(nèi)或者其他特殊場景。
•整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mmH,重量:約10kg
•雙探針座平臺鍍鎳設(shè)計(jì),提高了針座平臺和針座之間的吸附力
•Chuck XY微分頭設(shè)計(jì),行程25mm*25mm,精度2um
•Chuck大?。?英寸,中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制
•卡盤電學(xué)獨(dú)立懸空,帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用(測試垂直器件時)
•臺體底板帶高性能防震海綿,可一定程度減小外界震動對測試的干擾
•整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì),操作簡單,使用便捷
整機(jī)實(shí)物圖: